最高放大倍率:200万倍
分辨率:0.7nm @15kV
1.2nm @1kV
加速电压:0.02-30kV
样品仓尺寸:330mm(D),270mm(H)
五轴电动优中心样品台:
X/Y = 130 mm
Z = 50 mm
T = -4°- 70º
R = 360º continuous
最大存储分辨率:32k x 24k
高分辨扫描电镜系统,采用专利的Gemini镜筒设计,具有卓越的高低电压分辨能力;磁透镜与静电透镜的复合透镜设计,保证样品室内无漏磁;高束流稳定性。
配置的①In-lens,②ET-SE,③)aBSD,④)aSTEM等 四个探测器可完成对试样表面形貌的高分辨观察;
配备的EDS对样品进行定性和半定量分析,无损样品,可在观察样品表面形貌的同时全面了解样品成分、微观组织结构与性能的关系;
配备的EBSD可对样品进行微织构分析、微取向和晶粒取向分布测量,可以将晶体结构及取向信息与微观组织形貌相对应。
蔡司扫描电镜系统不仅在生物学、医学、农学、食品科学、物理学、化学及环境科学与工程、材料、冶金和电子等众多领域应用广泛,在陶瓷、合金和地质等学科领域亦有十分广阔的应用前景。