参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
500万像素CCD，5Mpx: 2448x2048 像素 (最高可达180 fps)；
纵向分辨率：0.1nm；
水平光学分辨率：≥0.14um；
水平像素分辨率：≥0.05um；
台阶高度重复性：0.1%；
台阶高度精度：0.5%；
Z轴行程：电动40mm，手动150mm；
最大样品高度：150mm；
电动平台行程：150mm x 150mm；
最大纵向扫描范围：34mm；
平台倾斜调节范围 ：≥3度（可选配电动倾斜台）。
主要功能及特色
可开展金属样品表面三维形貌表征、磨痕测量、摩擦系数测量和磨损体积测定等测试。