1、最小线间距:<25mm;最小线宽:<15um
2.最大加工区域:>300mmx300mm
3.重复定位精度:<2um
4.最高加工速度:>10cm2/min
5.使用紫外激光激光器,波长:355nm
6.激光平均输出功率:>10W
多功能紫外激光加工系统使用紫外激光源,波长短,能量密度大,靠分解物质分子结构的冷加工光蚀材料,对大多数材料有效,对材料的热影响小,适用于高聚物、薄金属等热敏感材料的无损加工和贵重元器件的清洁加工。该设备具备切割、钻孔、激光直写成型三种基本功能,胜任特别精细电路图形或特种加工。