(1) 测量项目包括:粗糙度(Ra,Rz,Rmax等),波纹度,轮
廓参数;
(2) 平台尺寸:700×500mm;
(3) 可测试件长度:120mm;
(4) 水平直线度:0.5µm/120mm;
(5) 测量垂直行程:500 mm;重复定位精度:≤50 µm;
(6) 测量速度范围:0.1–5 mm/s;垂直运行速度:≥10
mm/s;
(7) 粗糙度传感器量程:±400μm;
(8) 粗糙度传感器最小分辨率:1nm;
(9) 粗糙度测头:≤2µm;
(10) 轮廓度传感器量程:≥ 60mm;
(11) 轮廓度传感器最小分辨率:15nm;
(12) 轮廓度测头:≤20µm;
(13) 测量软件可实现粗糙度与轮廓实时显示,并可进行分析与评
价;
(1)表面粗糙度测量:测量工件表面的粗糙度参数,如Ra、Rz等。
(2)轮廓度测量:测量工件表面的轮廓度,包括水平距离、垂直距离、线性距离等。
(3)形状公差检测:检测工件的形状公差,如直线度、圆度等。
特色:
(4)广泛适用性:适应平面、内外圆柱面、圆锥面等多种形状的工件表面测量。