(1) 行程测量范围:500×700×500(mm);
(2) 最大工件重量:500kg;
(3) 长度测量精度:0.7+L/400 um;
(4) 扫描探测精度: 0.9 / 40um/s;
(5) 形状扫描精度:0.6 um;
(6) 单探针探测精度:0.7 um;
(7) 多探针精度:2.0 um;
(8) 最大扫描速度:350 mm/s;
(9) 最大空间运动速度:500 mm/s;加速度:1.5m/s2;
(10) 测头分辨率: 50nm;
(11) 测头探针针尖最小直径:0.3mm;
(1)尺寸测量:快速、准确地测量各种复杂零件的尺寸,包括长度、宽度、高度、孔径等。
(2)形位公差检测:检测各种形位公差,如平面度、圆度、圆柱度、同轴度等。
(3)曲面测量:对复杂曲面零件进行高精度的测量和分析。
(4)高精度:结合机械、光学、电子、计算机等多种技术,确保测量精度。
(5)多功能性:能够测量物体的尺寸、形状、位置和曲面特征等多个方面。