电子束曝光机
电子束曝光机

联 系 人:  张君贤

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电      话: 

地      址:  坪山校区(校本部)B4栋1层G108

生产厂家: Raith GmbH

型      号:  ELPHY Plus

购买日期: 1970/01/01

参考收费标准
开放机时安排
主要规格和技术参数
1、图形发生器基于高速高精度DSP技术。 2、扫描频率不低于20 MHz,最小停留时间不大于50ns,最小停留时间增量不大于1ns。 3、配备用于X和Y方向束偏转的两块高速数据收集和控制系统(16位)。 4、需配备6块乘法数模,16位高速数据收集和控制系统,通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变。 5、含有束开关控制电路和高速图像采集和标记获取。 6、提供通用样品台,采用卡钳的方式固定小样片,样品尺寸最大为20 x 20 mm。 7、提供用于写场精细校准的CHESSY,和用于测量束电流的法拉第杯。
主要功能及特色