临界点干燥仪
临界点干燥仪

联 系 人:  李凯凯

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地      址:  坪山校区（校本部）

生产厂家: tousimis

型      号:  Automegasamdri-936, Series C

购买日期: 1970/01/01

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参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
可用于6寸及以下的晶圆干燥，该设备的特色为可在不破坏样品结构的前提下对样品干燥。常用于MEMS悬臂梁结构及生物样品干燥。
主要功能及特色
采用液态CO2置换样品中的液体，再经过加热加压使CO2达到气液临界点，通过CO2液态到气态无应力的特性达到无应力干燥的目的，保证样品结构不破坏。