等离子体镜室
等离子体镜室

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地      址:  坪山校区（校本部）B4栋4层405

生产厂家: 兆默真空设备（上海）有限公司

型      号:  ZM3358

购买日期: 1970/01/01

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参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
1、腔体面包板采用铝板6061-T651，支架等可用铸铁 2、腔体长*宽*高：3 m*2 m*1 m（实际设计可略调整，调整范围不超过0.2m），中心高度1.4-1.8 m 3、真空度：≤5.0*10-5 Pa
主要功能及特色