参考收费标准
无
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
性能指标：
离子源：氩离子
最大研磨角：±10°
离子束能量：0.1 ~ 10.0 KeV
真空度：5×10-6 Torr
样品台移动：X轴和Y轴，调节范围≥±0.5mm
温度控制范围：-170℃-室温
主要功能及特色
主要应用领域:
采用聚焦离子束制备金属、陶瓷、薄膜、复合材料、颗粒等各种材料的透射电镜试样（包括截面样品），薄区面积大、损伤小